동명대(총장 정홍섭)는 지난 11월 27일부터 29일까지 제주도에서 개최된 5th International Conference on Materials and Reliability(ICMR-2019) 국제학술대회에 참가했던 기계공학부 박성현씨(지도교수 기계공학부 이현섭 교수)이 우수포스터상 수상자로 선정됐다고 밝혔다.

박씨의 연구는 반도체 화학기계적 연마(CMP) 공정에서 CMP용 슬러리의 용존산소량을 높임과 동시에 OH 라디칼에 의한 화학적 반응성을 높이는 기초연구로 기존의 CMP 공정의 효율을 높이는데 도움이 될 것으로 보인다. 박군은 내년 석사과정 진학 후 이에 관한 연구를 추가적으로 진행할 예정이다.


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